光刻机板块表现强势，晶瑞股份、智光电气、飞凯材料、南大光电等多只个股集体涨停。上海发布智能制造行动计划，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。
界面新闻
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光刻机板块表现强势，晶瑞股份、智光电气、飞凯材料、南大光电等多只个股集体涨停。上海发布智能制造行动计划，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。
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