据新华社报道,中船重工718所副所长郭建增表示,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为国内集成电路产业发展提供坚实支撑。
电子特种气体被称作电子工业的“血液”。是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称,是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。电子特种气体过去长期被国外企业垄断。
目前,718所三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一,三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过95%,国际市场覆盖率达50%;其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件,得到了国内半导体龙头企业的测试认证,并力争在2020年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。
