消息面上，台积电3nm、2nm先进制程与CoWoS先进封装产能持续供不应求。供应链人士透露，英伟达、苹果等持续占有台积电先进制程与封装资源。此外，亚马逊AWS近期放大AI自研芯片投片，旗下Annapurna取得更多3nm产能。联发科除手机芯片外，也因谷歌TPU相关大单，争抢2/3nm制程与CoWoS-S/L产能。政策层面，两部门近日联合印发《电子信息制造业发展“十五五”规划》，"电子专用设备攻坚计划"单独成栏，覆盖材料制备、电学性能生成、封装组装、量检测设备与电子测量仪器。
中信证券指出，洁净室是半导体资本开支的早期环节，从建设周期、历史验证多角度来看，可作为国内半导体设备需求的有效前瞻指标。考虑到2026H1国内洁净室头部企业半导体相关订单大幅放量，按洁净室领先设备搬入5-9个月测算，预计2026H2国内半导体设备需求有望跟进，建议关注国产半导体设备+国内半导体洁净室两条投资主线。
截至2026年9月15日 13:33，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.82%，成分股华海清科上涨8.93%，拓荆科技上涨7.25%，兴福电子上涨6.33%，屹唐股份，华海诚科等个股跟涨。
科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年8月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、安集科技、中船特气、沪硅产业，前十大权重股合计占比73.94%。
