凯尔达7月1日公告,公司控股子公司于近期收到3项国家知识产权局颁发的发明专利证书,发明专利名称分别为:一种抗环境干扰的多集成MEMS触觉传感器及其制作方法、一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器、一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器。
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凯尔达7月1日公告,公司控股子公司于近期收到3项国家知识产权局颁发的发明专利证书,发明专利名称分别为:一种抗环境干扰的多集成MEMS触觉传感器及其制作方法、一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器、一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器。
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