半导体设备午后持续拉升，消息面上，DeepSeek V4正式版高峰期价格将翻倍，算力需求飙升提振上游半导体设备需求，此外，韩国发布史上最大规模产业投资方案，千亿级韩元资金集中布局半导体与AI产业。
银河证券强调，当前正值中报业绩窗口期，存储与设备板块业绩超预期概率较高，叠加AI需求拉紧晶圆代工与封测供应链，板块有望迎来业绩与估值双修复。
截至2026年6月30日 14:04，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.54%，成分股中科飞测上涨14.69%，神工股份上涨11.15%，芯源微上涨9.94%，有研硅，安集科技等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.85%， 冲击11连涨。最新价报3.35元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
