半导体设备延续强势，消息面上，随着半导体硅片行业的回暖，今年以来，海外龙头企业已发起两轮提价，累计涨幅超15%。
财通证券指出，硅片正处于由下行周期转上行周期的景气周期拐点，硅片拐点已经通过涨价函逐步确认；本轮硅片涨价由AI服务器驱动，重掺硅片先涨，轻掺硅片后涨，硅片上涨为整体板块性机会。
截至2026年6月26日 13:25，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.07%，成分股有研硅上涨20.00%，上海合晶上涨16.23%，富创精密上涨13.31%，艾森股份，先锋精科等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.88%， 冲击9连涨。最新价报2.92元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
