截至2026年6月22日 09:38，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.13%，成分股有研新材上涨9.15%，晶升股份上涨8.74%，珂玛科技上涨7.63%，天岳先进，中微公司等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.95%， 冲击5连涨。最新价报3.32元。拉长时间看，截至2026年6月18日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨15.56%，涨幅排名可比基金1/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率1.49%，成交额7229.03万元。拉长时间看，截至6月18日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额5.13亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达47.48亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流入2.08亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”2.50亿元，日均净流入达6238.62万元。（数据来源：Wind）
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
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