近日，华海清科宣布，其自主研发的国内首台510 \* 515mm尺寸全自动板级CMP（化学机械抛光）量产装备Master-P510APEX，已成功获得先进封装领域重要客户订单，将按计划进入客户端产线投入量产应用。Master-P510APEX是华海清科专为大尺寸板级封装严苛工艺需求设计，能够满足板级封装产品的低缺陷抛光要求，兼顾优异的全板面均匀性与平坦化精度。该装备集成先进的智能终点检测系统，支持多种终点检测模式，能够满足先进封装客户对高精度、高一致性、高良率规模化量产的需求。作为国内 CMP 设备龙头，华海清科各类装备订单稳步攀升，先进制程 CMP 机型增量亮眼，减薄、离子注入设备及配套耗材维保业务同步放量，半导体设备多品类平台化布局持续落地。AI 算力带动先进封装需求爆发，叠加晶圆制造设备国产化持续推进，本土半导体设备企业成长空间持续打开。
南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技、北方华创、中微公司等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。
南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）
南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）
