“去日化”背景下，半导体设备掀起涨停潮，市场看好国产替代。
中银证券指出，在国产化率加速突破28nm及以上成熟制程设备验证周期、晶圆厂资本开支温和回暖、以及AI算力基建带动先进封装设备需求扩张三重驱动下，半导体设备板块2026年Q2起有望迎来订单—业绩—估值的螺旋修复，当前高估值更多反映对技术突破节奏与政策加码力度的乐观定价。
截至2026年6月11日 15:00，科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨6.02%， 实现3连涨。最新价报2.22元。流动性方面，科创半导体设备ETF鹏华盘中换手28.29%，成交2.54亿元，市场交投活跃。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
