截至2026年6月10日 09:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.85%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨3.61%，盘中换手2.84%，成交2.29亿元。
截至6月9日，半导体设备ETF易方达(159558)近1周规模增长9905.50万元，近1月份额增长1.75亿份，实现显著增长。资金流入方面，半导体设备ETF易方达(159558)近22个交易日内，合计“吸金”6.99亿元。
消息面上，据华海清科微官方消息，近日，华海清科自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX成功获得先进封装领域重要客户订单，将按计划进入客户端产线投入量产应用。公司表示，该装备是公司深化“装备+服务”平台化发展战略的又一突破，将成为国内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备，为我国先进封装乃至半导体产业自主可控补齐关键一环。
中邮证券分析，沪硅产业12吋硅片销量同比增幅超90%，带动整体营收增长35.22%，显示国产大尺寸硅片替代进程加速。公司持续推进“两个平台”战略，300mm SOI硅片已进入小批量量产阶段，面向射频、高压、硅光等高端应用的核心产品完成技术验证；同时压电薄膜衬底材料产线逐步释放产能，8英寸单晶压电衬底已进入批量交付，光学级钽酸锂薄膜实现标准化出货。尽管当前仍处战略性投入期导致亏损扩大，但产能利用率提升与产品结构优化正推动盈利修复趋势逐步兑现。
相关标的：半导体设备ETF易方达（159558，联接：021893/021894）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，截至2026-05-15，指数中半导体设备权重约65%，半导体材料权重约22%（合计权重87%），前几大设备成分包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科等，更聚焦国产替代、晶圆厂扩产的放量主线。
