早盘半导体设备股活跃，消息面上，台积电重申2026资本开支为520~560亿美金，内部倾向于接近上限。全行业扩产的背景下，洁净室、厂房成了瓶颈环节。此外，马斯克近日在摩根大通全球总部的采访中唱多美光科技。他表示，“真正的瓶颈在于芯片制造能力”，目前美光的产能还远不及芯片实际需求。
银河证券指出，5月半导体设备板块虽因前期涨幅过高出现高位回调，但长江存储IPO过会及扩产招标落地为长期订单提供坚实基础，回调后配置价值凸显。武汉380亿美元存储扩产规划亦在月初对板块形成有力提振，设备企业接连上调订单指引，显示行业景气度依然稳固。
截至2026年6月9日 09:41，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.43%，成分股富创精密上涨9.53%，中巨芯上涨6.83%，沪硅产业上涨6.69%，上海合晶，中微公司等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.48%，最新价报1.97元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
