截至2026年6月3日 09:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.96%，成分股广立微上涨12.07%，立昂微上涨9.99%，康强电子上涨9.99%，有研新材，上海合晶等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.12%，最新价报2.51元。拉长时间看，截至2026年6月2日，半导体设备ETF华夏近1月累计上涨16.07%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率5.64%，成交额1.99亿元。拉长时间看，截至6月2日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交额4.44亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达35.08亿元。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF华夏近10个交易日内有6日资金净流入，合计“吸金”4.01亿元，日均净流入达4012.09万元。（数据来源：Wind）
截至6月2日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨65.55%。
跟踪精度方面，截至2026年6月2日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.014%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
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