截至2026年5月22日 15:00，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.01%，成分股天岳先进上涨10.12%，晶升股份上涨6.54%，华峰测控上涨4.16%，艾森股份，康强电子等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨0.90%，最新价报2.7元。拉长时间看，截至2026年5月21日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨11.16%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率12.63%，成交额5.00亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月22日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额7.44亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达39.70亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）
从资金净流入方面来看，半导体设备ETF华夏近3天获得连续资金净流入，最高单日获得2.71亿元净流入，合计“吸金”6.18亿元，日均净流入达2.06亿元。（数据来源：Wind）
截至5月21日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨87.88%。
跟踪精度方面，截至2026年5月21日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
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