截至2026年5月13日 13:21，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.51%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨3.81%， 冲击3连涨，盘中换手8.14%，成交4.76亿元。
截至5月12日，半导体设备ETF易方达(159558)近1月规模增长8.81亿元，近半年份额增长13.28亿份，实现显著增长。
平安证券指出，2026年美、中九大CSP合计资本开支已上修至约8300亿美元，年增速达79%，AI竞赛引发的资源竞争已全面蔓延至整个半导体供应链；NVIDIA等头部企业已抢先锁定4/3nm先进制程、CoWoS封装及HBM等关键产能，倒逼上游设备厂商加速交付与技术适配。在此背景下，设备作为晶圆制造的“卡脖子”环节，其国产替代紧迫性与确定性同步增强。
相关标的：半导体设备ETF易方达（159558，A/C：021893/021894），紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
