截至2026年5月12日10:05，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.15%，成分股芯源微上涨16.28%，晶升股份上涨13.47%，华海清科上涨8.12%，兴福电子，沪硅产业等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨2.86%。
流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手5.31%，成交4.67亿元。拉长时间看，截至5月11日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交11.02亿元。
盘面上看，半导体设备概念逆市上扬，消息面上，群智咨询最新预测数据显示，2026年全球AI服务器出货量将达到约370万台，同比增长51.3%。SK海力士2026年一季度营收同比大增198%、净利润同比飙升406%，净利率达77%，创全球半导体历史新高，主要受益于AI驱动下HBM与DRAM价格暴涨（ASP环比+60%）及市占率近60%的主导地位。
有分析认为，存储供需持续失衡，行业景气度维持韧性，价格有望延续上行。而存储芯片持续涨价，存储厂商盈利提升、加速扩产，叠加HBM高端产能建设，带动光刻、刻蚀、封测等半导体设备需求放量，利好上游设备板块。
数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。
相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
