消息面上，半导体设备板块早盘表现活跃，中证半导体材料设备主题指数上涨2.2%；SEMI中国预测2026年全球半导体市场规模或达9750亿美元，行业增长预期强化。
券商研究方面，山西证券指出AI驱动下半导体设备国产化进程加速，细分领域国产替代率分化显著，其中去胶设备国产化率达80-90%，而光刻设备仍低于1%，凸显产业链技术突破的差异化现状。开源证券则强调本土晶圆代工行业面临成熟制程涨价、先进制程替代及存储工艺需求三重驱动，叠加国家大基金三期对设备环节的定向支持，半导体设备产业链景气度有望持续提升。两家机构均认为政策扶持与技术突破共振，为半导体设备领域提供中长期结构性机会。
截止日期：03月25日13:14，指数科创半导体材料设备(950125.CSI)上涨2.13%；主要成分股普涨，中微公司上涨4.02%，芯源微上涨5.71%，安集科技上涨3.92%，天岳先进上涨5.97%，拓荆科技上涨1.87%；科创半导体设备ETF鹏华(589020.SH)上涨2.14%。
数据显示，科创半导体材料设备(950125.CSI)前十大权重股依次为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、沪硅产业、安集科技、芯源微、华峰测控、天岳先进、盛美上海，前十大权重股合计占比达73.53%。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪科创半导体材料设备指数,上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
