消息面上，半导体设备概念股亚翔集成连续两日涨停并创历史新高，柏诚股份等成分股表现活跃，主要受SEMICON China行业大会开幕及SK海力士计划筹资扩建AI芯片产能等事件催化。
山西证券指出，AI驱动下半导体设备国产化进程加速，细分领域国产替代率分化显著，其中去胶设备国产化率达80-90%，而光刻设备仍低于1%，结构性机会与挑战并存。开源证券则强调本土晶圆代工行业面临成熟制程涨价、先进制程替代及存储工艺需求三重驱动，叠加政策端大基金三期对设备环节的定向支持，产业链景气度有望持续提升。两家机构均认为半导体设备与材料领域将受益于技术突破与产能扩张的双重红利。
截止日期：03月25日09:46，指数科创半导体材料设备(950125.CSI)上涨3.64%；主要成分股普涨，拓荆科技上涨5.39%，中微公司上涨3.95%，华海清科上涨3.77%，芯源微上涨5.79%，中科飞测上涨3.61%；科创半导体设备ETF鹏华(589020.SH)上涨3.33%。
数据显示，科创半导体材料设备(950125.CSI)前十大权重股依次为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、沪硅产业、安集科技、芯源微、华峰测控、天岳先进、盛美上海，合计权重占比达73.53%。该指数成分股集中分布于半导体材料与设备领域，前十大个股覆盖薄膜沉积设备、晶圆制造设备、检测设备及硅片材料等细分环节。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪科创半导体材料设备指数,上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
