截至2026年3月5日 11:03，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.22%，成分股联动科技上涨7.14%，中晶科技上涨6.30%，金海通上涨5.41%，中巨芯，矽电股份等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.97%，最新价报1.91元。拉长时间看，截至2026年3月4日，半导体设备ETF华夏近3月累计上涨21.91%
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手3.22%，成交8627.58万元。拉长时间看，截至3月4日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交1.97亿元。
跟踪精度方面，截至2026年3月4日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.012%，在可比基金中跟踪精度最高。
相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
