截至2026年3月3日 13:18，半导体设备ETF华夏（562590）下跌3.51%。
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手8.81%，成交2.28亿元。拉长时间看，截至3月2日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交1.96亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达26.17亿元。
半导体设备ETF华夏连续5天获杠杆资金净买入，最高单日获得179.94万元净买入，最新融资余额达2612.00万元。
相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
