截至2026年3月2日 13:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌1.38%。成分股方面涨跌互现，拓荆科技领涨4.67%，晶升股份上涨3.30%，雅克科技上涨1.52%；中科飞测领跌6.68%，有研硅下跌6.00%，神工股份下跌5.21%。半导体设备ETF华夏(562590)下跌1.65%，最新报价1.97元。拉长时间看，截至2026年2月27日，半导体设备ETF华夏今年以来累计上涨23.66%。
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手4.29%，成交1.13亿元。拉长时间看，截至2月27日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交1.76亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达26.72亿元。
跟踪精度方面，截至2026年2月27日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。
相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
