截至2026年2月27日 13:58，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌2.40%。成分股方面涨跌互现，有研新材领涨1.98%，联动科技上涨0.93%，珂玛科技上涨0.43%；盛美上海领跌8.59%，安集科技下跌4.40%，北方华创下跌3.97%。半导体设备ETF华夏(562590)下跌2.39%，最新报价2元。拉长时间看，截至2026年2月26日，半导体设备ETF华夏近2周累计上涨7.39%。
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手4.92%，成交1.31亿元。拉长时间看，截至2月26日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交2.32亿元。
跟踪精度方面，截至2026年2月26日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。
相关ETF：
科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
