截至2026年1月15日收盘，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.96%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨5.06%，换手18.12%，成交5.15亿元，市场交投活跃。
拉长时间看，截至1月14日，半导体设备ETF易方达(159558)近12天获得连续资金净流入，最高单日获得2.38亿元净流入，合计“吸金”10.31亿元。
消息面上，1月15日，台积电披露2026年资本支出，预计达520-560亿元（25年为409亿美金），超出市场预期，未来两年全球先进制程扩产空间进一步提升。从国内市场来看，产业趋势与海外高度协同，芯片生产厂具备充足动力采购半导体设备。
当前为什么关注半导体设备，机构指出：
1）短期有业绩支撑，中期产业趋势明确：
市场风险偏好波动时，资金更偏好具备短期业绩、以及中期明确产业趋势的投资机会，而半导体设备一直是科技中业绩确定性与稳定性拔尖的细分赛道；
2）估值相对较低：
与部分动辄150-250倍PE-TTM的半导体指数相比，半导体设备接近100倍PE-TTM的估值相对较低；
3）后续潜在催化多：
后续不仅与地缘政治/自主可控相关的情绪看点多，也具备能实打实带动业绩的产业落地（短期两存扩产+长期先进制程扩产+国产化率提升不可逆），潜在催化事件多。
相关标的：半导体设备ETF易方达（159558，A/C：021893/021894），超额收益显著领先，跟踪的指数中半导体设备权重63%，覆盖刻蚀、沉积等关键国产化环节；同时半导体材料权重达到24%，后续有望持续受益于地缘政治影响下的自主可控逻辑，充分受益于产业Beta。
