12月15日，丰茂股份在互动平台表示，光刻机密封部件是保障光刻精度的关键部件，核心作用是密封光路、真空腔室等关键部位，隔绝杂质污染，维持设备内部环境等。公司优势在于深耕精密橡胶材料改性与精密成型技术，公司密封系统产品已应用在汽车、机器人、无人机、工业机械等领域，光刻机密封业务尚处于技术研发与市场拓展早期阶段，后续进展请以公司公告为准。
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12月15日，丰茂股份在互动平台表示，光刻机密封部件是保障光刻精度的关键部件，核心作用是密封光路、真空腔室等关键部位，隔绝杂质污染，维持设备内部环境等。公司优势在于深耕精密橡胶材料改性与精密成型技术，公司密封系统产品已应用在汽车、机器人、无人机、工业机械等领域，光刻机密封业务尚处于技术研发与市场拓展早期阶段，后续进展请以公司公告为准。
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