华特气体:乙硅烷项目已经完成产线安装,目前在小试阶段

华特气体近期接受投资者调研时称,公司锗烷产品去年底通过了韩国最大存储器企业的5纳米制程工艺产线的认证,已产生订单。高纯锗烷主要用于先进制程工艺,产品在国内暂没有需求,公司的锗烷产品主要出口海外。乙硅烷项目已经完成产线安装,目前在小试阶段,试验产品已供下游部分客户进行认证,处于认证中状态。

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